Ellipsomètre Spectroscopique Woollam : M-2000™

Ellipsomètre Spectroscopique Woollam : M-2000™ - Quantum Design France

Ellipsomètre Spectroscopique Woollam : M-2000™ - Spectroscopie

Ellipsomètre Spectroscopique Woollam : M-2000™ - produit présenté par Quantum Design France

Ellipsomètre Spectroscopique Woollam : M-2000™

Spectroscopie

“ L'ellipsomètre Woollam M-2000™ combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Cela permet des mesures quasi-instantanées avec, par exemple, 390 longueurs ”

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L'ellipsomètre Woollam M-2000™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures très précises et une grande résolution. La méthode RCE est compatible avec la détection par spectrophotomètre à caméra CCD afin de détecter simultanément toute la gamme spectrale.

Paramètres mesurables :

Epaisseur de couche
Indice complexe du matériau
Rugosité d'interface
Coefficients de la matrice de Mueller
Dépolarisation des couches étudiées

Caractéristiques :

Usage ex-situ (goniomètre) ou in-situ (sur bâti) ou encore en ligne
Ellipsomètre à compensateur tournant (RCE)
Conception modulaire avec un large choix de configurations
Gamme spectrale maximale : 193 -1690 nm
Possibilité d'automatisation complète (angle d'incidence, XY, Z, auto-tilt, mapping)

Caractéristiques

M-2000V: 370 à 1000 nm (390 wavelengths) M-2000U/X: 245 à 1000 nm (470 wavelengths) M-2000D: 193 à 1000 nm (500 wavelengths) Extension proche IR : 1000 à 1690 nm (200 wavelengths) une caméra NIR étend la gamme spectrale des mocèles Angle Range: Fixed Angle 65° / Horz. Auto Angle 45° - 90° / Vert. Auto Angle 20° - 90° System Overview: Patented rotating compensator ellipsometry, simultaneous CCD detection of all wavelengths, flexible system integration Data Acquisition Rate: Data collected 20 times per second. For optimal signal-to-noise, typical measurement times for full spectrum is between 0.5 and 5 seconds.

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