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Appareil pour les couches minces - Time Domain Thermoréflectance (TDTR) TF-LFA LaserFlash LINSEIS ANALYSE THERMIQUE

Appareil pour les couches minces - Time Domain Thermoréflectance (TDTR) TF-LFA LaserFlash

Conductimètres

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“ LaserFlash pour les mesures de couches minces (de 80 nm à 20 pm) - conductivité thermique / diffusivité thermique ”
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L'information des propritétés thermo-physiques des matériaux et l’optimisation du transfert de chaleur des produits finis est de plus en plus crucial pour les applications industrielles.

Au cours des dernières décennies, la méthode flash a été mise au point dans le but de mesurer la diffusivité thermique et la conductivité thermique de différents types de matières solides, poudres et liquides.

Les propriétés thermo-physiques des films minces sont de plus en plus importantes dans les industries des produits tels que, les disques optiques à changement de phase, matériaux thermoélectriques, des diodes électroluminescentes (DEL). Dans tous ces cas, un film mince obtenu par le dépôt sur un substratdonne une fonction particulière à un dispositif. Etant donné que les propriétés physiques de ces films se distinguent des produits en vrac, ces données sont nécessaires pour les prévisions de gestion thermique précise.

Basé sur la technique du laser flash, le Laser-flash de Linseis pour les films minces (TF-LFA), offre maintenant toute une gamme de nouvelles possibilités pour analyser les propriétés thermodynamiques des films minces de 80 nm à 20 um d'épaisseur.

1. La méthode Laser Flash haute vitesse (détection arrière/chauffage avant (RF)):

Comme les propriétés thermiques des couches minces et des films diffèrent considérablement des propriétés de la matière en vrac correspondante, une technique pour surmonter les limitations de la méthode classique Laser-flash est nécessaire: la "Méthode Laser flash Haute Vitesse".

La géométrie de mesure est la même que pour la technique Laser-flash standard: le détecteur et le laser sont chacun sur les côtés opposés de l’échantillon. Étant donné que les détecteurs IR sont trop lents pour la mesure de couches minces, la détection est effectuée par la méthode dite de la thermoréflectivité. L'idée derrière cette technique est que, une fois qu’un matériau est chauffé, la variation de la réflectivité de la surface peut être utilisée pour en dériver les propriétés thermiques. La réflectivité est mesurée en fonction du temps, et les données reçues peuvent être adaptées à un modèle qui contient des coefficients qui correspondent aux propriétés thermiques.


2. La méthode de thermoréflectivité du domaine temporel (Front heating front détection (FF)):

La méthode de thermoréflectivité est un procédé par lequel les propriétés thermiques (conductivité thermique, diffusivité thermique) de couches minces ou de films peuvent etre déterminées. La géométrie de mesure est appelé «front heating front detection (FF) » parce que le détecteur et le laser sont sur le même côté de l'échantillon. Ce procédé peut être appliqué à des couches minces sur des substrats non transparents pour laquelle la technique de RF ne convient pas.

 

3. Methode combiné à haute vitesse laser Flash (RF) & la méthode de thermoréflectivité du domaine temporel (FF):

Bien sûr, les deux méthodes peuvent également être mises en œuvre dans un système unique pour combiner les avantages des deux.

 

-100°C jusqu'à 500°C Sonde laser: laser HeNe(632nm), 2mW Energie d'impulsion maximum: 90mJ/pulse (contrôlé par le logiciel) Laser de pulse: laser Nd-YAG

Céramique industrie du verre matériau de construction métaux/alliages inorganique

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