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Système de traitement des effluents gazeux : M150 EDWARDS SAS

Système de traitement des effluents gazeux : M150

Traitement des gaz

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Le système de traitement des effluents gazeux M150 est dédié pour la fabrication des semi-conducteurs.

Utilisant la technologie exclusive de réacteur à cartouche chaude, ce système de traitement à sec est capable de traiter des débits de gaz allant jusqu'à 60 slpm et détruit les gaz dangereux jusqu'à ce qu'ils atteignent un niveau inférieur aux valeurs limites admissibles (TLV, Threshold Limit Value).

Il nécessite pas une alimentation en eau et ne présente aucune corrosion des tubes associée à la rétrodiffusion de l'humidité.

Consommation électrique : Nominale 0,7 à 1,0 kW Poids : 270 kg Alimentation électrique triphasée : 380 / 415 V, 50 Hz, 208 V, 60 Hz, 200 V, 50 / 60 Hz

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