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Solution de traitement des gaz de refoulement : SPECTRA-G EDWARDS SAS

Solution de traitement des gaz de refoulement : SPECTRA-G

Traitement des gaz

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Economique et à hautes performances, la solution de traitement des gaz de refoulement convient pour la fabrication de MOCVD à base de nitrure.

Cette solution de traitement des gaz de refoulement peut recevoir jusqu'à six orifices d'entrée indépendants.

Les orifices d'entrée indépendants permettent d’empêcher que des gaz incompatibles ne soient pré mélangés en amont du brûleur.

Débit maximal du gaz : 800 slm Nombre d'orifices d'entrée : 1 à 6 Alimentation électrique : 200-208 V c.a., triphasé Fréquence : 50/60 Hz Consommation électrique : 4 kW Pression d'alimentation en azote : 7 bars Pression de l'alimentation en gaz combustible : 137 mbar (2 psi) Débit d'extraction : 60 Nm 3/min

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