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Précipitateur électrostatique humide (WESP) EDWARDS SAS

Précipitateur électrostatique humide (WESP)

Traitement des gaz

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Le précipitateur électrostatique humide (WESP) sert à éliminer efficacement des particules en aval d'un dispositif de traitement de chambre de procédé.

Ce précipitateur électrostatique humide envoie les particules dans un flux d'eau sans produire de contre-pression significative et peut être associé à la plupart des systèmes de traitement.

Une suppression parfaite des particules des circuits de refoulement des processus de fabrication de semi-conducteurs permet de faire diminuer le risque d'obstruction des tubes de refoulement.

Ce précipitateur électrostatique humide est spécialement adapté aux processus CVD de 300 mm, FPD, de cellules photovoltaïques et MOCVD.

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