Pompe turbo moléculaire : STPA1603C Bride d'admission ISO200F

La pompe turbo moléculaire STPA1603C Bride d'admission ISO200F est un équipement industriel de pointe, conçu pour répondre aux exigences des processus de vide poussé dans le secteur des semi-conducteurs. Ce produit de haute performance, combinant débit élevé et fiabilité maximale, est parfaitement adapté pour les applications de gravure de pointe.

1. Performance et fiabilité combinées: Propulsées par la technologie de rotor avancée, ce produit offre une performance optimale avec un débit d'azote maximal de 2 500 sccm et une pression limite étonnante de 10-7 Pa. Ces caractéristiques témoignent de sa capacité à fournir des résultats fiables et cohérents, même dans les conditions de travail les plus exigeantes.

2. Conception compacte et économie d'espace : Grâce à sa compacité et son contrôleur demi-rack, la pompe turbo moléculaire STPA1603C permet un gain de place significatif. C'est la solution parfaite pour les installations où l'espace est une ressource précieuse.

3. Système de réduction des dépôts : Le système avancé de réduction des dépôts de cette pompe minimise l'accumulation de contaminants, assurant ainsi une longue durée de vie du produit et une performance constante sur le long terme.

4. Compatibilité élevée : La pompe turbo moléculaire STPA1603C est capable de travailler main dans la main avec les plus récents outils de gravure de 200 mm et de la nouvelle génération de procédés de gravure de l'oxyde de 300 mm. Cela démontre sa compatibilité et sa capacité d'adaptation à l'évolution des technologies.

En termes techniques, ce joyau de la technologie offre un large éventail de caractéristiques impressionnantes. Son orifice de purge est un KF16 et son orifice de sortie est un KF40. Elle est indifférente à sa position de montage et peut résister à une pression de refoulement maximale de 266 Pa. Ses autres attributs notables comprennent le raccord pour refroidissement par eau PT1/4, un temps de montée en régime rapide de 7 minutes, et une vitesse nominale de 36 500 tours par minute.

Il est important de souligner que cette description pourra ne pas être exhaustive. Pour obtenir plus d'informations détaillées, il est fortement recommandé de consulter la fiche technique complète du produit. Ainsi, bien que la pompe turbo moléculaire STPA1603C soit décrite en détail ici, il existe également d'autres variantes du produit, telles que la STPA1603CV TMS ISO200F ou la STPA1603CV TMS DN200CF, qui pourraient être plus adaptées à vos besoins spécifiques. Veuillez noter que toutes les variantes de ce produit partagent la même base technologique de rotor avancée, garantissant un niveau de performance toujours élevé.