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Pompe sèche iH160, 460 V, 60 Hz 3 diam EDWARDS SAS

Pompe sèche iH160, 460 V, 60 Hz 3 diam

Pompes à vide électrique

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La pompe sèche iH160, 460 V, 60 Hz 3diam convient pour différents procédés : procédé PVD, décapage/incinération, métrologie, lithographie, …

Cette pompe à vide avancée de semi-conducteurs dispose de sous-produits condensables, corrosifs et particulaires.

Fiabilité, hautes performances et résistance sont les atouts fondamentaux de cette pompe sèche.

Vitesse maximale : 165 m3h-1, 97 cfm , 2750 l min-1 Vide limite : 1 x 10-2 mbar , 7,5 x 10-3 torr Débit d'azote des joints d'axe type : 4 slm Raccord à l'admission : ISO63 Raccord au refoulement : NW40 Poids : 244 kg Puissance d'alimentation à la pression limite : 3,1 kW Puissance nominale du moteur : 5,0 kW Charge d'huile : 0,85 l

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