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Pompe turbo moléculaire : STP-XA2703C EDWARDS SAS

Pompe turbo moléculaire : STP-XA2703C

Pompes à vide électrique

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La pompe turbo moléculaire STP-XA2703C est efficace pour plusieurs applications : gravure de semi-conducteurs, l'implantation, la lithographie et les procédés LCD.

Cette pompe turbo moléculaire réalise des performances élevées dans la plage de pressions de procédé allant du vide poussé à 2300 sccm, ainsi qu'un débit optimisé pour tous les gaz.

Elle est installée sur une plate-forme qui permet d'améliorer la gestion thermique.

Bride d'admission : VG250 Pression limite : 10-7 Pa Pression de refoulement maximale admissible : 266 Pa Vitesse nominale : 27 500 tr/min Temps de montée en régime : 8 min Position de montage : Orientation indifférente Débit du refroidissement par eau : 3 lmin-1 Température de refroidissement de l'eau : 5-25 °C (41-77 °F) Pression : 0,3 MPa Débit recommandé de gaz de purge : 50 sccm (8,4 x 10-2 Pam3s-1)

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