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Pompe turbo moléculaire : STP-XA3203C ISO320F EDWARDS SAS

Pompe turbo moléculaire : STP-XA3203C ISO320F

Pompes à vide électrique

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La pompe turbo moléculaire STP-XA2703C est recommandée pour la réalisation de plusieurs applications : l'implantation, les procédés LCD, la lithographie et gravure de semi-conducteurs.

Cette pompe turbo moléculaire procure un débit optimisé pour tous les gaz et garantit des performances élevées dans la plage de pressions de procédé allant du vide poussé à 2300 sccm.

Elle est placée sur une plate-forme qui sert à améliorer la gestion thermique.

Pression limite : 10-7 Pa Pression de refoulement maximale admissible : 266 Pa Vitesse nominale : 27 500 tr/min Temps de montée en régime : 8 min Position de montage : Orientation indifférente Débit : 3 lmin-1 Température : 5-25 °C (41-77 °F) Pression : 0,3 MPa Débit recommandé de gaz de purge : 50 sccm Tension d’alimentation : 200 à 240 (± 10) V c.a.

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