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Pompe à vide très poussé : STP-L301C admission ISO100 EDWARDS SAS

Pompe à vide très poussé : STP-L301C admission ISO100

Pompes à vide électrique

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La pompe à vide très poussé STP-L301C est dédiée pour une utilisation avec les microscopes électroniques et adaptée pour les applications de semi-conducteurs.

Cette pompe à vide est parfaite pour le dépôt de couches (CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD), la pulvérisation, la gravure plasma, la gravure ECR ainsi que d’autres applications.

Elle répond parfaitement aux besoins spécifiques des applications radioactives : systèmes de fusion, cyclotrons...

Bride d'admission : ISO100, CF100 Orifice de sortie : KF25 Orifice de purge : KF10 Pression d'admission maximale admissible, refroidissement ambiant : 6,7 x 102 Pa Pression de refoulement continue maximale, refroidissement ambiant : 13 Pa Vitesse nominale : 48 000 tr/min Temps de montée en régime : 3 min Température maximale de la bride d'aspiration : 120 °C Consommation au démarrage : 0,55 kVA Poids de la pompe : 13 kg

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