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Pompe turbo moléculaire : Admission STPH301C ISO100K EDWARDS SAS

Pompe turbo moléculaire : Admission STPH301C ISO100K

Pompes à vide électrique

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La pompe turbo moléculaire STPH301C est spécialement développée pour les applications de semi-conducteurs les plus difficiles.

Cette pompe turbo moléculaire est appréciée pour sa fiabilité éprouvée sur le terrain et ses performances exceptionnelles garantissant une flexibilité maximale des procédés.

La vitesse nominale de cette pompe turbo moléculaire est de 48 000 tr/min.

Débit d'azote maximal : 2 500 sccm Temps de montée en régime : 4 min Température maximale de la bride d'aspiration : 120 °C Consommation électrique : 0,6 kVA Poids de la pompe : 15 kg Poids du contrôleur : 9 kg

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