Interféromètre pour la mesure de l'épaisseur des wafers | interferoMETER IMS5420-TH

L’IMS5420 est un interféromètre à lumière blanche de haute performance pour la mesure de l’épaisseur sans contact de wafers de silicium monocristallin. L’épaisseur de wafers de silicium non dopés, dopés et fortement dopés peut ainsi être mesurée avec un seul système de mesure. L’IMS5420 procure une stabilité du signal inférieure à 1 nm. L’épaisseur peut être mesurée à une distance de 24 mm.

Les interféromètres IMS5420 détectent avec précision l’épaisseur des wafers grâce à la transparence optique des wafers de silicium dans la plage de longueur d’onde de 1100 nm. Dans cette plage de longueur d’onde, les wafers de silicium aussi bien dopés que non dopés ont une transparence suffisante. Il est ainsi possible de mesurer des épaisseurs de wafer allant jusqu’à 1,05 mm. L’épaisseur mesurable de la lame d’air peut atteindre jusqu’à 4 mm.