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Caractérisation dynamique des microstructures (MEMS, MOEMS, etc) POLYTEC FRANCE

Caractérisation dynamique des microstructures (MEMS, MOEMS, etc)

Interferometres

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“ Systèmes tout-en-un permettant la caractérisation mécanique complète de vos dispositifs en en temps record. De la mesure vibratoire (dans le plan et hors plan) à la topographie (rugosité, planéité, etc.), un seul appareil combine plusieurs techniques de mesure: - Vibromètrie laser à effet Doppler (vibrations hors-plan, résolution picomètrique) - Stroboscopie vidéo (Vibrations dans le plan, résolution sub nanomètrique) - Interféromètrie de lumière blanche (Topographie, résolution sub-nanomètrique) ”
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La nécessité croissante de caractériser la dynamique et la topographie des Micro-Électro-Mécanique-Systèmes (MEMS), a motivé Polytec à développer une ligne innovante de systèmes basés sur microscope pour mesurer la dynamique et la topographie des microsystèmes et des dispositifs de MEMS.

L'analyseur de microstructures MSA-500 est unique sur le marché. Il permet l'analyse et la visualisation des vibrations structurelles et la topographie sur des microstructures. Les systèmes proposés par Polytec permettent une mesure de vibrations hors-plan et s'adaptent particulièrement bien aux environnements de production. Pour les tests de wafers, le système peut être monté sur une station sous pointe manuelle ou robotisée.

Le vibromètre ultra haute fréquence UHF-120 permet de caractériser des vibrations hors plan même si la fréquence est très élevée. L'UHF-120 permet de mesurer des vibrations d'une fréquence de 1,2 GHz. En plus d'être une technologie innovante, le vibromètre conserve les avantages et les caractéristiques connues de la vibrométrie laser Polytec qui en font le standard de l'industrie.

 

Lien Vidéo analyse de microstructures

Grossissement de x1 à x100 Gamme de fréquence du DC à 1,2GHz Résolution picomètrique voire femtometrique Intégration sur station sous pointes Correlation avec modèles éléments finis facilitée

MEMS, MOEMS (cantilevers, comb drives, etc.) SAW, BAW Dispositifs RF

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