“ Systèmes tout-en-un permettant la caractérisation mécanique complète de vos dispositifs en en temps record. De la mesure vibratoire (dans le plan et hors plan) à la topographie (rugosité, planéité, etc.), un seul appareil combine plusieurs techniques de mesure:
- Vibromètrie laser à effet Doppler (vibrations hors-plan, résolution picomètrique)
- Stroboscopie vidéo (Vibrations dans le plan, résolution sub nanomètrique)
- Interféromètrie de lumière blanche (Topographie, résolution sub-nanomètrique) ”
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Le système de caractérisation dynamique des microstructures (MEMS, MOEMS, etc) fourni par Polytec France, est une solution innovante pour l'analyse et la visualisation des vibrations structurelles et de la topographie sur les micro-structures. Grâce à sa compatibilité avec les environnements de production, ce dispositif s'intègre facilement sur une station sous pointes, qu'elle soit manuelle ou robotisée.
1. Une analyse multidimensionnelle : Le système de caractérisation dynamique des microstructures permet de mesurer des vibrations même hors du plan de la surface. Cette capacité étendue offre la possibilité d'analyser les vibrations structurelles dans toutes leurs dimensions, offrant ainsi une compréhension plus profonde de la dynamique des microstructures.
2. Un large spectre de fréquences : Avec l'outil de mesure du vibromètre UHF-120, ce système peut détecter des vibrations d'une fréquence allant jusqu'à 1,2 GHz. Cette gamme de fréquence ultra-haute fait du système un outil adéquat pour un large éventail d'applications, comprenant des dispositifs RF, MEMS, MOEMS (cantilevers, comb drives, etc.), SAW, BAW.
3. Un outil tout-en-un : Combinant plusieurs techniques de mesure en un seul appareil (vibrométrie laser à effet Doppler, stroboscopie vidéo, interférométrie de lumière blanche.), le système simplifie notablement le processus de caractérisation mécanique des microstructures. Cette polyvalence permet de gagner du temps et de l'effort lors de l'analyse des vibrations structurelles et de la topographie.
4. Une visualisation de précision : Outre sa capacité à mesurer des vibrations de fréquence ultra-haute, le système offre une résolution picométrique voire femtometrique. Doté également de la stroboscopie vidéo, il permet d'observer les vibrations dans le plan avec une résolution sub-nanométrique, offrant ainsi des images précises des vibrations structurelles et de la topographie des microstructures.
Ce système de caractérisation dynamique des microstructures représente un outil performant et flexible pour la caractérisation des MEMS, MOEMS et autres dispositifs électroniques microscopiques. Fourni par Polytec France, reconnu pour sa qualité et son innovation dans les systèmes de mesure, ce produit est une solution technique adaptée aux défis posés par la caractérisation des microstructures dans l'industrie moderne.
Type de mesure: Vibrométrie laser à effet Doppler, Stroboscopie vidéo, Interférométrie de lumière blancheGamme de fréquence: DC à 1,2 GHzGrossissement: x1 à x100Résolution: Picomètrique voire femtometriqueApplications: Dispositifs RF, MEMS, MOEMS (cantilevers, comb drives, etc.), SAW, BAWMesure des vibrations hors plan: Permet d'analyser les vibrations même si elles sont hors du plan de la surfaceFréquence ultra-haute: Le vibromètre ultra haute fréquence UHF-120 peut mesurer des vibrations jusqu'à 1,2 GHzIntégration facile: Peut être intégré sur une station sous pointes manuelle ou robotisée
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