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Les équipements modulaires de pulvérisation et d’évaporation sous vide Eva 300 s’adaptent à des besoins évolutifs ou au changement des sources de dépôts. Développés pour la recherche, ils sont adaptés pour la production de moyennes séries. Ce sont aussi des outils didactiques pour maîtriser les techniques du vide et du dépôt de couches minces.Eva 300 associe pompage primaire et secondaire, plusieurs types d’enceintes de travail, de nombreux porte-substrats, une large gamme de sources de dépôt. Doté d’une chambre de 300 mm de diamètre sur 400 de haut, il atteint 8x10-5 mbar en 10 min et 9x10-6 en 23 min. Son taux de fuite est inférieur à 5x10-8 mbar.l.s-1.
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