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PROFILOMÈTRES MÉCANIQUES KLA Tencor SCIENTEC

PROFILOMÈTRES MÉCANIQUES KLA Tencor

Mesures de rugosité

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Profilomètres mécaniques KLA Tencor
- La plus grande gamme verticale à 1200 µm
- Mesures de force faibles de 0,03 à 15 mg
- Répétabilité de hauteur de pas de 5 Å sur un pas de 1 µm
- Caméra couleur haute résolution 5 MP avec zoom numérique 4x
- Correction trapézoïdale, correction d'arc, séquençage avec redressement et assemblage automatique
- Interface utilisateur intuitive

55 mm de longueur de balayage Gamme de capteurs Z jusqu'à 1,2 mm Etage de positionnement motorisé de 200mm (mouvement 150mm x178 mm) Contrôle de force 0.03mg - 10mg

Texture de surface Hauteur de marche de précision Forme de surface Stress de couche mince Biologique

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