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Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur, longue durée de vie IWAKI FRANCE

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur, longue durée de vie

Pompes hydrauliques

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Cette pompe longue durée de vie est utilisée dans le transfert de liquide chargé de particules.

Longue vie assurée par la structure en « tubephragme »
La pompe CSP fonctionne par application d'une pression sur un liquide incompressible à la périphérie externe d'un tube (aucun effort n'est subi par le tube puisque aucune pièce de friction n'est incorporée).
Comparée à une pompe péristaltique dont le tube est soumis à de fortes contraintes mécaniques, la structure du « tubephragme » a une durée de vie plus longue.

Elimination des poussières et des dépôts de « slurry »
Du fait qu' aucun composant ne subit de contraintes mécaniques, aucune particule n'est produite par cette pompe et les dommages liés au « slurry » sont minimes.
Aucune accumulation n'est à craindre à l'intérieur de la pompe. Seules des quantités infimes de « slurry » restent à l'intérieur de la pompe dont le nettoyage est très facile.

Transfert des mesures
Les révolutions du moteur à courant continu sont converties en un mouvement réciproque par un mécanisme à came qui permet un fonctionnement plus sûr du « tubephragme ».
Le moteur maintient une vitesse de rotation constante même en charge.

Dimension compacte
La pompe étant de dimension compacte, elle peut être installée dans un espace limité. Le montage de cette pompe sur une installation existante est également possible.

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