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Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur, série FS IWAKI FRANCE

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur, série FS

Pompes hydrauliques

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Rapidité de cadence de coups
Une augmentation de la cadence des coups (240 coups/min) permet la réduction de la taille, du poids et du coût de fabrication de la pompe ainsi qu'une diminution de l'amplitude du mouvement des soufflets.
(NB. Les cadences de coups sont différentes selon le modèle de pompe.)

Toutes les parties en contact avec le liquide sont composées de résine fluorée et ne comporte donc aucune partie métallique.
Les parties métalliques extérieures sont revêtues de résine fluorée. L'utilisation d'arbre étanche a pour effet de réduire, de façon remarquable, la production de particules.

Large gamme de températures de liquides / hauteur de refoulement importante
Etant donné que la pompe peut transférer des fluides compris entre 5 à 180°C avec des pressions de refoulement de 5 bars, la pompe est utilisable non seulement pour les procédés de lavage et les procédés CMP mais aussi pour le transfert de produits chimiques.

Facilité de maintenance
Le détecteur de proximité peut être remplacé sans démonter la pompe et le resserrage régulier de la boulonnerie n'est pas nécessaire, ce qui réduit le coût de maintenance.

Système de pilotage par détecteur
La pompe est pilotée par un distributeur d'air qui reçoit les informations des détecteurs installés aux deux extrémités de la pompe.
En outre, lorsque le distributeur d'air est connecté au contrôleur, le débit est plus facilement géré.

La série FS est la dernière gamme de pompes pneumatiques à soufflet prévue pour la circulation de l'eau de lavage des wafer ainsi que la recirculation et le transfert de CMP vers le bac d'alimentation.

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