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Pompes Turbomoléculaires Hybrides à Paliers Magnétiques ALCATEL SENSISTOR

Pompes Turbomoléculaires Hybrides à Paliers Magnétiques

Pompe à vide pneumatique

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“ 4 pompes répondant à vos exigences et à vos applications ”
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Protections:
• 5 axes actifs
• Système automatique de contrôle de balourd
• Système de chauffage intégré jusqu’à 75°C
• Purge intégrée

La série ATH-M permet un fonctionnement à haute pression et flux élevés, afin de répondre aux exigences des procédés semi-conducteurs et autres dépôts de couches minces.

Une conception de haute technologie:
• Vitesse de rotation réglable pour une optimisation des paramètres de pompage
• Très faibles niveaux de bruit et de vibration
• Protection contre les coupures électriques sans batterie
• MTBF élevé
• Faible coût de possession

Technologie à paliers magnétiques: absence d’usure, fonctionnement sans maintenance Pompage propre sans hydrocarbure Fonctionnement possible dans toutes les positions Grande résistance aux entrées d’air brutales Encombrement et poids réduits Brides ISO-F, ISO-K, CFF (ASA sur demande) Contrôleur compact format 1/2 Rack

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