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Pompes à vis sèches - COBRA BC 1000/2000 F BUSCH FRANCE

Pompes à vis sèches - COBRA BC 1000/2000 F

Pompes à vide électrique

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“ COBRA – la nouvelle génération de pompes à vide à sec pour processus exigeants. ”
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Les pompes à vis sèches COBRA BC 1000/2000 F sont utilisées pour un traitement thermique rapide (RTP), pendant le dépôt de couches atomiques (ALD), les opérations sas de chargement de grande capacité et le dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité (HDP CVD), d'organométalliques (MOCVD), assisté par plasma (PECVD) et à basse pression (LPCVD).

Parfaites pour tous les processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs, ces deux pompes à vis sèches permettant d’évacuer des fluides poudreux et chargés de particules grâce à leur technologie sans huile.

D’une construction compacte, elles disposent d’un moteur à haute efficacité incluant un mode veille, deux rotors à vis tournant à l'intérieur du cylindre piègent et compriment le fluide de pompage et un système de refroidissement indirect par eau assurant une répartition thermique uniforme dans la pompe.

Ces pompes se différencient par rapport aux autres pompes à vide par une vitesse de pompage extrêmement rapide pour l’aspiration d’hydrogène et une longue durée de vie.

Vitesse de pompage nominale : 930 / 1580 m3/h Pression finale : 0,003 hPa (mbar) Puissance nominale du moteur de la pompe primaire : 1.5 / 2.9 kW Puissance nominale du moteur de la pompe auxiliaire : 2.9 / 4 kW Consommation électrique combinée à la pression finale / en mode veille : 2,1 / 1,5 - 3,0 / 1,9 kW Vitesse nominale du moteur de la pompe primaire : 3000 / 4800 min-1 Vitesse nominale du moteur de la pompe auxiliaire : 5400 min-1 Niveau sonore (ISO 2151) : 62 dB(A) Consommation d'eau : 3 l/min Consommation d'azote : 0 - 50 l/min

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