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Pompe turbo moléculaire : Admission STPA803C ISO160F EDWARDS SAS

Pompe turbo moléculaire : Admission STPA803C ISO160F

Pompes à vide électrique

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Dédiée pour le secteur industriel, la pompe turbo moléculaire STPA803C ISO160F est efficace pour les applications de semi-conducteurs les plus difficiles.

Alliant fiabilité et performance, cette pompe turbo moléculaire est utilisable pour plusieurs applications : gravure plasma, décapage, examen de plaquettes…

La vitesse nominale cette pompe turbo moléculaire est de 32 500 tr/min.

Bride d'admission : ISO160F Orifice de sortie : KF40 Orifice de purge : KF10 Raccord pour refroidissement par eau : PT1/4 Pression limite avec étuvage : 10-7 Pa (10-9 torr) Pression continue de refoulement maximale : 270 Pa (2 torr) Débit d'azote maximal : 1500 sccm Temps de montée en régime : 7 min Température maximale de la bride d'aspiration : 120 °C Tension d’alimentation : 200 à 240 (± 10) V c.a.

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