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Pompe à vis sèche - COBRA BA 0100 C BUSCH FRANCE

Pompe à vis sèche - COBRA BA 0100 C

Pompes à vide électrique

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Bénéficiant d'un refroidissement par air, la pompe à vis sèche COBRA BA 0100 C est équipée d'un moteur à haute efficacité comportant un mode de veille, une double vis, deux rotors à vis qui tournent à l'intérieur du cylindre, un système de refroidissement à air efficace et une chambre de compression.

Elle est utilisée dans les dépôts chimiques en phase vapeur d'organométalliques, assisté par plasma, à basse pression, à pression sub-atmosphérique (SACVD) ou au plasma à haute densité (HDP CVD), les dépôts de couches atomiques et pour le traitement thermique rapide (RTP).

Elle est idéale pour l'évacuation de sas de chargement et d'autres processus exigeants dans la fabrication de semi-conducteurs, de cellules photovoltaïques et d'écrans plats.

Avec une technologie sans huile et sans contact, la pompe à vis sèche COBRA BA 0100 C est utilisée avec les applications nécessitant une production de vide efficace, rapide et fiable.

Dimensions (L x W x H) : 634 x 304 x 338 mm Entrée de gaz / Sortie de gaz : DN 50 KF / DN 40 KF Consommation d'azote : 0 - 50 l/min Poids approx. : 120 kg

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