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Milieu Laser F ArF KrCI KrF XeCI N XeF
Longueur d'onde en nm 157 193 222 248 308 337 351
Energie par impulsion en mJ 0.5 3.5 0.5 5.5 3 0.3 2
Puissance moyenne en mwatts 50 350 50 550 300 30 200
Durée de vie du gaz en nombre d'impulsions 106 106 107 106 107 107 106

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