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The RLD10-X3-DI differential interferometer detector head allows measurement of the relative displacement between a fixed, reference mirror, and a moving, measurement mirror. Particularly suited for vacuum and controlled environment applications, the RLD10-X3-DI detector head has been designed to mount to the external wall of a process chamber via a simple three-pin mount. There is no need to enter the chamber to align the detector head - integral beam steerers allow independent pitch and yaw adjustment of reference and measurement beam - and the design of the mounting system allows the detector head to be removed and repositioned with minimal effect on system alignment.

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