Capteurs confocaux pour distance et épaisseur à exigences spéciales | confocalDT IFS2406

“ Mesures de l'épaisseur unilatérales et de distance Capteur utilisable en vide Résolution: max. 18 nm ”

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Les capteurs confocaux de la série confocalDT IFS2406 se distinguent par leur haute précision et leur taille compacte. En plus de la mesure de distance sur les surfaces réfléchissantes et transparentes, ce capteur est idéal pour la mesure de l'épaisseur unilatérale des films, des panneaux et des couches transparents. La construction des capteurs IFS2406-2,5 se prête à l'application sous vide, elle est particulièrement polyvalente grâce à la mesure axiale et radiale.

Caractéristiques

Plages de mesure (mm) : 2,5 | 3 | 10 Linéarité: max. 0,75 µm Résolution: max. 18 nm Mesures de l'épaisseur unilatérales et de distance Spot de lumière réduit Capteur utilisable en vide

Domaines d'application

Automatisation Semi-conducteurs Industrie plastique

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