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Système semi-automatiques de transfert de plaquettes silicium | Gemini

Système semi-automatiques de transfert de plaquettes silicium | Gemini - R2D AUTOMATION

Système semi-automatiques de transfert de plaquettes silicium | Gemini - Machines spéciales

Système semi-automatiques de transfert de plaquettes silicium | Gemini

Machines spéciales

“ - Simple à utiliser et facile à entretenir - Peut-être entièrement personnalisé - Compatible avec les cassettes et les wafers les plus utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs ”

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GEMINI est l'un des plus petits systèmes semi-automatiques de transfert de wafer par batch au monde.

Il est simple à utiliser et facile à entretenir !

GEMINI peut charger et décharger un lot de wafer de 6″ ou 8″ d'une cassette à l'autre en moins de 30 secondes.

Le lot peut contenir de 1 à 25 plaquettes à transférer.

GEMINI peut être entièrement personnalisé pour répondre à des attentes élevées en matière de cassettes, de panier de process (PFA) ou de wafers.

Déjà compatible avec les cassettes et les wafers les plus utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, le GEMINI peut également être conçu pour répondre aux besoins spécifiques des clients.

La Gemini est declinée en deux versions :
une version simple avec utilisation par bouton et une version avec ecran tactil embaquant un Panel PC afin de communiquer avec les Host des fabs par SECS/GEM.

Caractéristiques

Détection de la présence de la plaquette dans la cassette et sur la tête Détection de sécurité en cas de chute de la plaquette Limiteurs de courant sur tous les moteurs Sécurité d'arrêt de l'alimentation Verrouillage de sécurité du poussoir supérieur Position d'accueil automatique écran tactile 7 Taille de la gaufre 6'' ou 8''. Transfert de gaufrettes par lots de