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Interféromètre à lumière blanche pour la mesure absolue de la distance MICRO-EPSILON

Interféromètre à lumière blanche pour la mesure absolue de la distance

Capteurs de distance

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“ Capteurs compacts et robustes avec un grand écartement de base ”
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Optimisés pour l’industrie et dotés d’une telle précision qu’ils créent un niveau de précision innovant dans la mesure optique de la distance - c’est ainsi que se présentent les nouveaux interféromètres à lumière blanche de Micro-Epsilon.

Avec une résolution de < 30 picomètres, les valeurs mesurées de l’interferoMETER de Micro-Epsilon atteignent un niveau de précision innovant en métrologie optique.
 
L’interféromètre IMS5400-DS est utilisé pour la mesure de distance industrielle. Le système de mesure fournit des valeurs de mesure absolues et peut détecter, par exemple, des dénivelées et des arêtes de manière fiable sans perte de signal. Les capteurs compacts et robustes permettent l’intégration dans les espaces d’installation restreints.
 
L’interféromètre IMS5600-DS est conçu pour les mesures de distance en salle blanche et le vide (jusqu’à l’ultravide). Un calibrage spécifique du contrôleur permet d’obtenir une résolution sub-nanométrique, nécessaire par exemple pour l’alignement des wafers ou le positionnement du porte-plaquette.
 
Les interféromètres se composent d’un contrôleur, d’un capteur et d’un câble à fibre optique. Les capteurs ont été développés pour les tâches de mesure industrielles. C’est pourquoi ils sont équipés de boîtiers métalliques robustes et de câbles hautement flexibles.
 
Une simple connexion est possible via de nombreuses interfaces analogiques et numériques telles que Ethernet et EtherCAT. La configuration s’effectue via une interface web conviviale pour la mise en service et le paramétrage.

Large écartement de base Meilleur de sa classe : résolution < 30 picomètres (IMS5600-DS) Ethernet, EtherCAT, RS422 Stabilité élevée du signal grâce à de nouveaux algorithmes d’évaluation et à une compensation active de la température Capteurs et câbles adaptés au vide Paramétrage simple via l’interface web
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