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ALLIANCE CONCEPT

DP 605

Equipements de production pour l’électronique

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Système modulaire et évolutif pour tous types de dépôts et matériaux. Des procédés variés (DC, RF, Bias RF / DC) pour tous matériaux. Une configuration adaptée à chaque procédé. Un concept unique de porte-substrats. Un automatisme convivial. Un vide limite dans la gamme de 10-8 mbar.

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