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Xenocs passe l'industrie aux rayons X

Publié le

En cinq ans, la jeune entreprise est passée de la recherche amont sur les rayons X aux applications industrielles. La PMI grenobloise s'attaque aujourd'hui aux marchés des semi-conducteurs et de la pharmacie.

Il aura fallu moins de cinq ans à la start-up grenobloise Xenocs pour prendre son envol dans le marché très étroit des applications des rayons X. Au sein de l'Institut de recherche fondamentale Laue-Langevin (ILL), dont la société est issue, Peter Hoghoj a développé des systèmes optiques travaillant à de très courtes longueurs d'ondes, comme les ultra-violets extrêmes et les rayons X. Ces systèmes sont basés sur des revêtements multicouches qui permettent de fabriquer des miroirs pour ces longueurs d'ondes. A partir de cette technologie, ont été mis au point des équipements complets comprenant une source et l'optique correspondante, destinés non pas aux intégrateurs mais aux utilisateurs, en particulier l'industrie des semi-conducteurs.

« Nous avons développé la technologie et les procédés, rappelle le physicien, d'abord pour répondre à une demande interne de l'Institut, puis à une demande externe pour de petites séries. » Il n'en fallait pas plus pour passer d'une logique de laboratoire à une logique industrielle. La création d'une entreprise devenait un passage obligé.

Une première référence prestigieuse

Une période d'incubation d'une année, au sein de l'Institut, a été nécessaire avant la mue. Elle a permis à la jeune pousse de profiter des moyens techniques de l'ILL. Depuis, Xenocs entretient toujours de bons rapports de collaboration avec l'Institut, tout en nouant des relations avec d'autres laboratoires, comme le Léti, tout proche, ou l'Institut d'optique de Paris.

La période d'incubation a aussi été mise à profit pour générer les premières ventes, notamment auprès de l'Agence spatiale européenne, qui a choisi cette technologie pour Xeus la mission d'observation des rayons X spatiaux. Une référence prestigieuse. Avec ses premiers contrats hors laboratoires de recherche, Xenocs prend une autonomie revendiquée depuis ses débuts.

Les semi-conducteurs et la santé sont directement concernés

L'entreprise se dote alors d'un outil industriel de haut niveau : une machine de déposition par faisceaux d'ions lui permet par exemple de s'attaquer à la fabrication des masques de lithographie pour l'industrie des semi-conducteurs. Celle-ci intéresse Peter Hoghoj depuis longtemps. Avec l'arrivée des plaquettes de silicium de 300 millimètres de diamètre, les besoins des électroniciens ont en effet évolué. « Avant, pour vérifier les puces gravées, ils prélevaient des plaquettes témoins, explique le chercheur. Aujourd'hui, les industriels contrôlent directement en production. » Les systè- mes d'inspection à rayons X trouvent ici toute leur utilité. Ils permettent de vérifier l'épaisseur des dépôts de matériaux mais aussi le positionnement des puces sur la plaquette avant le découpage de celles-ci. Dans ce domaine, l'objectif de Peter Hoghoj est clairement affiché : confirmer sa position, nouvellement acquise, de leader de la métrologie à rayons X pour les semi-conducteurs.

Ce n'est pas sa seule ambition. Xenocs vise aussi le secteur de la santé qui utilise le même genre d'appareils. « La biologie structurale est une des filières les plus prometteuses », estime Peter Hoghoj. Et plus précisément l'étude des interactions entre protéines. Car ce qui est important pour le biologiste, c'est la manière dont est construite la protéine, en trois dimensions. C'est justement là qu'intervient l'imagerie par diffraction grâce aux rayons X. « Elle permet aux chercheurs de réduire le temps passé en laboratoire, insiste Peter Hoghoj. Et donc d'accélérer le cycle de développement des produits pharmaceutiques. »

Mais aussi celui de Xenocs : en no- vembre, la jeune pousse a obtenu le prix Fast 50. Une récompense décernée par Deloitte et Oséo Anvar qui distingue les 50 sociétés technologiques ayant enregistré la plus forte croissance.

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