Microtechnique : La plus petite pompe à membrane du monde

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Microtechnique : La plus petite pompe à membrane du monde

Mesurant 7x7millimètres, cette micropompe à double sens a un débit de 14centimètres cubes par minute. Mise au point à l'Institut Fraunhoffer de Munich, elle est constituée de deux membranes de silicium distantes de 5micromètres l'une de l'autre. Solidaire des clapets d'entrée et de sortie, la membrane supérieure vibre sous l'influence d'impulsions électrostatiques. Cette micropompe à double sens réduira avantageusement le coût et la complication de nombreux microsystèmes.

USINE NOUVELLE N°2508

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