Mesure : Microcapteurs à tout faire

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Mesure : Microcapteurs à tout faire



Les chercheurs d'Oak Ridge ont mis au point des microcapteurs qui ont à peine l'épaisseur d'un cheveu humain. La technologie permet de fabriquer une vaste gamme de capteurs : débit, gaz, humidité, pression, température, viscosité, etc. Le procédé consiste à mesurer la flexion d'une micropointe de silicium ou de nitrure de silicium dont l'extrémité est enduite du matériau approprié capable de réagir avec le composant ou le phénomène à mesurer.

USINE NOUVELLE N°2569

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