Les plaques de silicium sur isolant prêtes au recyclage

Dans le cadre du programme de R&D Bernin 2010, Soitec a développé le procédé Refresh pour le recyclage des plaques de silicium sur isolant.


Le français Soitec, le premier fabricant mondial de plaques de silicium sur isolant (Silicon On Insulator - SOI) et de substrats innovants pour les circuits intégrés électroniques à hautes performances, a développé le procédé Refresh, pour le recyclage des plaques de SOI. Ce procédé est opérationnel depuis quelques mois sur son principal site de production à Bernin (38), près de Grenoble.

La technologie propriétaire Smart-Cut de Soitec, utilisée pour la fabrication de plaques SOI, possède un avantage déterminant par rapport aux autres techniques de transfert de film en silicium ultra pur : le prélèvement de la couche est non destructif pour le substrat donneur et permet de le recycler pour la réalisation d'une autre série de substrats. C'est un avantage économique crucial dans le cas d'une matière première rare ou coûteuse. Jusqu'ici, Soitec sous-traitait cette activité de recyclage.

Recycler les substrats

Pour répondre aux exigences de performance et de compétitivité, Soitec développe de nouvelles générations de substrats avancés qui nécessitent des ruptures technologiques dans le domaine du recyclage. Soitec a décidé d'accroître son activité industrielle en s'impliquant dans le domaine hautement technologique du recyclage de ses substrats. Un procédé innovant de recyclages successifs, baptisé Refresh, a ainsi été mis en œuvre en complément de la technologie Smart-Cut, sur le site de Bernin pour les plaques de 300 mm de diamètre.

La qualité des substrats recyclés par Soitec est aujourd'hui similaire à celle de ses concurrents, qui sont les leaders de la fabrication des plaques de silicium. Avec son procédé de Refresh, mis en place en un temps record, Soitec s'approprie une activité de plus en plus stratégique pour son métier. Cela lui permet de réduire ses coûts de fabrication, d'accroître sa compétitivité et de se donner les moyens de se tourner vers les marchés de l'électronique grand public. Le procédé Refresh s'inscrit dans la politique globale de réduction des coûts du groupe, objectif primordial pour Soitec.

Un projet de recherche de trois ans

Ces développements ont été menés dans le cadre du programme Bernin 2010, avec le soutien des collectivités territoriales et de l'Etat : Conseil Général de l'Isère ; Communauté de Communes du Moyen Grésivaudan (COSI) ; Ville de Bernin et Direction Générale des Entreprises du Ministère de l'Economie, des Finances et de l'Emploi. L'objectif du programme Bernin 2010 est de renforcer sur le site de Bernin, au plus près des équipes de production, les activités de R&D de Soitec pour le développement de nouveaux substrats avancés. Ce projet s'échelonne sur 3 ans (2006-2009) ; il est mené par Soitec, sa division Tracit et le CEA-Leti.

Ridha Loukil

Pour en savoir plus : http://www.soitec.com/fr/

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