Contrôle 3D des Mems

MSA-400 de Polytec



Les micro systèmes font aujourd'hui partie intégrante de notre vie de tous les jours. On les retrouve dans beaucoup de produits comme : l'automobile, (capteurs de rotation pour ESP et GPS, capteur d'accélération pour les airbags...) ; les moniteurs de télévision haute définition, les vidéo projecteurs ; les systèmes de télécommunication (interrupteurs optiques) etc.

Basé sur son savoir-faire de la technique de mesure vibratoire sans contact, Polytec propose toute une gamme de systèmes qui permettent de caractériser la dynamique structurelle des composants des MEMS.



Le MSA-400, Micro System Analyser, est le premier instrument de mesure optique permettant la visualisation et l'analyse vibratoire 3D ainsi que la mesure de topographie de surface des microstructures comme les MEMS.

Le MSA-400 est un outil puissant intégrant un microscope et permettant la caractérisation du comportement dynamique et en 3D des MEMS et MOEMS. Il intègre un microscope, permettant une excellente résolution latérale ainsi qu'une qualité d'image exceptionnelle. Cela facilite un identification et une visualisation extrêmement rapide des résonances en plan et hors plan. Il est intégrable aisément sur les stations de contrôle de "wafer".

Son vibromètre laser à balayage sous microscope, couplé à la vidéo stroboscopie, permet la caractérisation dynamique en 3D des microstructures. L'interféromètre de lumière blanche rend possible une mesure de topographie avec une résolution inférieure au nanomètre. En outre, ces technologies sont toutes intégrées dans un seul capteur compact et robuste.

Notons que le MSA-400 a eu en 2005 le prix de l'innovation à l'occasion de l'expo Sensor & Test à Nuremberg.

Jean-François Prevéraud

Pour en savoir plus : http://www.polytec-pi.fr

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