Besançon inaugure sa salle blanche partagée
La Région Franche-Comté a doublé la surface mise à disposition des chercheurs et des industriels spécialisés en micro et nano fabrication. La salle blanche partagée s’étend désormais sur plus de 800 m2 de salles à empoussièrement contrôlé.
Sur la technopole Temis, la Région Franche-Comté vient de doubler la surface mise à disposition des chercheurs et des industriels spécialisés en micro et nano fabrication. Plus de 800 m2 de salles à empoussièrement contrôlé sont désormais consacrés à la lithographie, au dépôt de matériaux, à la gravure, au test et au packaging de microsystèmes.
Avec ses 13 millions d’euros d’équipements, des instruments qui pour l’essentiel étaient auparavant dispersés dans plusieurs locaux, la nouvelle salle blanche est un outil pour les chercheurs, notamment ceux des laboratoires de Femto ST, situés à proximité, issus du département Micro Nano Sciences et Systèmes, et du département Temps Fréquence (métrologie du temps, héritier de l’activité horlogère).
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Mais cette plateforme, qui appartient au réseau Renatech (CNRS-CEA) des "centrales de technologies" dédiées aux nanosciences, va aussi faciliter le travail des industriels qui y ont régulièrement recours. Start-up ou sociétés déjà établies, nombre d’entreprises de la région utilisent ces ressources exceptionnelles, souvent inaccessibles pour des PME.
FrecNSys, spin off de Femto ST tout récemment créée (février 2013), qui fabrique des composants à onde acoustiques de surface pour les télécoms mobiles et des capteurs, opère une ligne de fabrication au sein de la salle blanche, afin de réaliser des prototypes préindustriels pour ses clients.
Un avant-goût du nouveau bâtiment de recherche
Sonexis, plus ancienne (2002), qui fabrique des sondes ultrasonores à la demande pour inspecter des canalisations, des soudures, etc., peut faire une partie de la fabrication dans ses locaux (le micro-usinage, 
notamment). Mais c’est dans la salle blanche de Temis que sont réalisées les opérations de photolithographie, dépôt de métaux sous vide, connexions... D’autres entreprises, PME ou grands groupes, font aussi appel aux moyens de la centrale technologique, pour seconder leurs propres équipements ou pour y mener des projets de recherche.
Le doublement de la surface de la salle blanche a coûté plus d’un million d’euros. Mais ce n’est qu’une petite partie du projet "Temis Sciences" qui, pour un montant global de 33,8 millions d’euros, construit aussi, juste en face, un bâtiment de recherche qui accueillera 260 personnes venues des départements d’optique et de microsystèmes de Femto ST. La livraison est prévue à la fin du premier semestre 2014.
Thierry Lucas
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