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Piezo-Nanopositioniertisch / Aktoren mit Direktmetrologie

  • Kombination aus Stelltisch und Aktor
  • Reibungsfreie Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit und spielfreie Bewegung
  • 0,05 nm Auflösung
  • Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren für höchste Genauigkeit
  • Minimale Ansprechzeit
  • PICMA® Hochleistungs-Piezoaktoren
  • ID-Chip zum automatischen Abgleich
  • Vakuumausführungen


  • NanoPositionneurs Piézos à  flexion LISA Piezo NanoAutomation® Stages  P-753

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