Hochdynamische XY- und XYZ-Nanostelltische mit Parallelmetrologie

Die Piezo-Nanopositioniersysteme der Serie P-733 sind hochdynamische und präzise XY- und XYZ-Nanostelltische und Scanner. Sie bieten einen Positionier- und Scanbereich von 100 x 100 (x10) µm mit Sub-Nanometer Auflösung. Die 50 x 50 mm große Apertur ist ideal für Durchlichtanwendungen wie z.B. Scanning-Mikroskopie geeignet. Die schnelle, aktive Z-Achse der Version P-733.3CD ist ideal geeignet, Führungsfehler in Z aktiv zu kompensieren oder kleine Z-Bewegungen auszuregeln.