Hochdynamische Piezokippspiegel mit zwei orthogonalen Achsen und 3° Kippbereich

Die neuen S-334 Kippsysteme / Scanner bieten einen Rekordstellbereich für piezogetriebene hochdynamische Kippspiegel. Der kompakte Parallelkinematik-Aufbau, bei dem zwei orthogonale Achsen um einen gemeinsamen Punkt drehen, hat verschiedene Vorteile gegenüber anderen dynamischen Scansystemen (z.B. Galvoscannern), die aus mehreren Einzelachsen aufgebaut sind.

Hohe Dynamik bei großem Stellbereich
Ein neuartiges Antriebsdesign ermöglicht trotz des außergewöhnlich großen mechanischen Kippbereiches von 50 mrad (entspricht 100 mrad optischer Strahlablenkung) eine hohe Resonanzfrequenz von 1,0 kHz inklusive Spiegel.

Sub-Mikroradian Auflösung und hohe Stabilität
Neben dem großen Stellweg und der hohen Dynamik ermöglicht der S-334 Auflösungen im Sub-µrad Bereich. Durch integrierte, differenzielle DMS-Positionssensoren werden absolute Positionierungen mit hoher Linearität – typisch besser als ±0,25% über den vollen Stellbereich – und hervorragender Wiederholbarkeit erreicht.