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Digitale Mehrkanal-Piezocontroller mit dynamischer Linearisierung

  • Für Nanopositioniersysteme mit kapazitiven Sensoren
  • 3-, 4- & 6-kanalige Ausführungen
  • 32-Bit digitale Filter
  • Hardware- und Firmware-Linearisierung
  • Koordinatentransformation für Parallelkinematik/-metrologie
  • Optionale Dynamische Linearisierung für höhere Scan-Linearität
  • ID-Chip-Erkennung für automatischen Abgleich
  • Option für Hochgeschwindigkeits-Parallelschnittstelle oder DSP-Link
  • Option analoge Schnittstelle
  • Umfangreiches Softwarepaket


  • Contrôleur pour système piézoélectrique E-710.6CD 6-axis Digital Piezo Controller shown with custom Super-Invar 6-DOF piezo flexure nanopositioning stage

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