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Messmaschine
Susan ist eine Wafer-Messmaschine, die 300mm-Wafer beidseitig vermisst. Hierbei wird berührungslose, kapazitive Messtechnik eingesetzt. Susan wurde entwickelt, um Wafer bis zu 300 mm Durchmesser gemäß den allgemeinen SEMI-Wafer-Spezifikationen in Bezug auf Durchbiegung, Verzug und Dicke zu vermessen.
