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Messmaschine
In einem Messvolumen von 100 x 100 x 40 mm wird eine volumetrische Messunsicherheit von nur 30 Nanometern (nm) erreicht. Dies heißt, dass man jeden Punkt in dem angegebenen Messvolumen mit einer Messunsicherheit von mindestens 30 nm bestimmen kann. In X- und Y-Richtung werden sogar je 15 nm Messunsicherheit erreicht.
