Profilomètre 2D 3D sans contact

Profilomètre 2D 3D sans contact 

HYPERION
Le système de mesure HYPERION est un appareil permettant la mesure sans contact de différentes topographies d’échantillons. La dynamique des structures verticales mesurées peut atteindre 1,5 mm avec une résolution de 10nm.  L’ensemble est composé de deux étages de déplacement X et Y avec moteurs pas à pas équipés d’encodeurs optiques assurant une précision d’environ 0,5 µm et d’un étage en Z manuel (pouvant être motorisé en option). Différents étages X et Y sont disponibles jusqu’à 200mm de balayage. Différents capteurs (AF16, KF3, KFTele et C1)  peuvent être aisément installés sur le système HYPERION le rendant ainsi ouvert à toutes les applications.

Capteur Autofocus AF16
Capteur basé sur le principe optique de la détection astigmatique Dynamique Z de 1,5 mm, résolution 10 nm

Capteur Confocal KF3 et KF3Tele
Capteur basé sur le principe de la détection du maximum de densité de lumière provenant de l’échantillon. Dynamique Z de 1mm, résolution 20 nm

Capteur lumière blanche C1
Capteur basé sur le principe de l’évaluation spectroscopique de la longueur d’onde dominante. Dynamique Z de 300 µm, résolution 25 nm.