Pompe turbomoleculaire à palier magnétique hybride
Leader sur le marché des pompes à palier magnétique, Alcatel Vacuum Technology est fier de présenter sa nouvelle pompe à vide hybride turbo-moléculaire à palier magnétique,
l’ ATH 500 M.
Cette pompe ATH500 M dernière née d’une large gamme, utilise la technologie avancée de paliers magnétiques 5 axes. Avec son électronique embarquée, l’intégration dans les équipements est facilitée.
Sa conception compacte et robuste offre un haut niveau de fiabilité pour les applications de 300 à 500 l/s et répond aux besoins applicatifs pour les brides à partir de DN100 .
L’ATH 500 M remplace avantageusement la plupart des pompes à roulements à bille avec des vitesses de pompage similaires. Sa vitesse de rotation ajustable permet aussi d’optimiser les paramètres de pompage.
L’ATH 500M répond aux besoins d’applications tels que :
• Dépôt (CVD, PVD, ALD, …)
- Disques durs
- Outils
- dépôt décoratif, …
• Instruments
- Microscopes électroniques
- Autres systèmes de métrologie
• Recherche et développement
• Chambres sous vide (transfert, sas, …)
Pompe turbomoleculaire à palier magnétique hybride
ATH 500 M Adixen présente sa nouvelle Pompe turbomoleculaire à palier magnétique hybride. La nouvelle pompe Maglev ATH 500 M d’Alcatel Vacuum Technology, un concentré de technologie garantissant la meilleure productivité de vos équipements
