EVA 300

Une conception optimisée qui vous garantit la qualité de vos recherches pour un investissement accessible. Des dépôts répondant à vos critères de qualité. Une large gamme de porte-substrats adaptés à votre process. Des procédés multiples pour une flexibilité dans vos recherches : Evaporation : source effet joule, canon à électrons, Pulvérisation : cathode magnétron ou diode, Des solutions combinées disponibles. Un automatisme de pompage performant pour votre confort d’utilisation : 2 types de pompage primaire : sec ou à palettes, 3 types de pompage secondaire : turbomoléculaire, à diffusion ou cryogénique. Choisissez parmi un grand choix d’accessoires et intégrez vous-même les modules EVA 300, au gré de vos besoins. Données techniques : Dimension de la chambre Diamètre 300 mm, hauteur 400 mm Dimension du bâti H (baie électrique) x L x P 1900 mm x 1280 mm x 600 mm Descente en vide 10 min pour atteindre 8x10-5 mbar 23 min pour atteindre 9x10-6 mbar Alimentation électrique 220V monophasé 50Hz Taux de fuite < 5x10-8 mbar.l.s-1