Analyseur de microstructures

Le MSA-400, Micro System Analyser, est le premier instrument de mesure optique permettant la visualisation et l’analyse vibratoire 3D ainsi que la mesure de topographie de surface des microstructures comme les MEMS. Son vibromètre laser à balayage sous microscope, couplé à la vidéo stroboscopie, permet la caractérisation dynamique en 3D des microstructures.L’interféromètre de lumière blanche rend possible une mesure de topographie avec une résolution inférieure au nanomètre. En outre, ces technologies sont toutes intégrées dans un seul capteur compact.